廢氣通過鼓風機進入氧化爐，由燃料加熱，加熱至250~300左右。在該溫度下，廢氣中的有機揮發物在催化劑的作用下被氧化并分解成二氧化碳和水。同時，反應后的高溫煙氣進入特殊結構的陶瓷蓄熱體，大部分熱量被再生器吸收95%以上)，溫度降低到入口附近的溫度，然后通過煙囪排出，達到凈化廢氣的目的，吸收的熱量用于預熱后續的廢氣，從而降低反應溫度并減少消耗品。

其凈化作用機理包含等離子體中包含大量的高能、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發態。有機當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，臭氣分子的化學鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成的無害氣體分子。同時產生大量的OH、HO2、O等活性自由基和氧化性極強的O3，與有害氣體分子發生化學反應，最終生成無害產物。

注意事項為低溫狀態下，大量的有機物進入催化床，造成催化劑“悶死”，導致暫時失活;含硫、磷、砷、鹵素化合物、重金屬化合物會與活性成分反應，導致催化劑長久失活;灰塵、積炭、高沸粘性物附著于催化劑表面，覆蓋催化劑活性位點，導致催化作用喪失;高溫會使催化劑載體及活性成分團聚或燒結，造成活性位數量大幅減少。

催化燃燒設備是使廢氣在催化劑的催化作用下在250~350的溫度下發生氧化分解的廢氣處理設備。在催化燃燒裝置中可以使廢氣中所含的有機廢氣(vocs)完全催化燃燒。相對于直接燃燒設備680～1050的高溫，催化燃燒設備具有更多的優勢。

除了對人類健康產生直接的影響外，工業有機廢氣苯系物還能夠引起城市的光化學煙霧，產生二次污染對人類健康產生更大的危害。苯系物的污染范圍不僅僅局限在一個城市或國家內，隨著它的擴散與遷移，甚至可能引起包括大規模區域環境問題，因此苯系物的污染具有跨國性。

維護措施為低溫“悶死”：正常運行前，催化床需先在新鮮風中預熱至反應溫度，方可通入有機物廢氣;含硫等毒性物質存在：通過前處理手段除掉此類物質或者選用有相應抗性的催化劑;灰塵、積炭、高沸粘性物：做好除塵等前處理;超溫：當催化床溫度超過600時系統停止運行或者采用新風稀釋、冷卻降溫。

催化燃燒設備適用范圍：1用于有機溶劑的凈化處理如:苯類、醇類、酯類、酚類、醚類、烷類等混合性有機廢氣。2適用于漆包線、機械、電機、化工、儀表、汽車、發動機、塑料、電器等行業的有機廢氣凈化。3適用于各種烘道、油漆噴涂流水線，印刷油墨、電機絕緣處理等烘干流水線等。