催化燃燒裝置具有操作方便、能耗低、自動化、阻力小、凈化高、使用壽命長等特點，根據廢氣預熱方式及收集方式，催化然燒工藝流程可分為3種。
1、吸附-催化燃燒
當廢氣的流量大、濃度低、溫度低，采用催化燃燒需耗大量燃料時，可先采用吸附手段將廢氣吸附于吸附劑上進行濃縮，然后通過熱空氣吹掃，使廢氣脫附出來成為濃縮了的高濃度廢氣（可濃縮10倍以上），再進行催化燃燒。此時，不需要補充熱源，就可維持正常運行。
2、預熱式
預熱式是催化燃燒的基本流程形式。廢氣溫度在100℃以下，濃度也較低，熱量不能自給，因此在進入反應器前需要在預熱室加熱升溫，燃燒凈化后氣體在熱交換器內與未處理廢氣進行熱交換，以回收部分熱量。該工藝通常采用煤氣或電加熱升溫至催化反應所需的起燃溫度。
3、自身熱平衡式
當廢氣排出時溫度較高（在300℃左右），高于起燃溫度，且物含量較高，熱交換器回收部分凈化氣體所產生的熱量，在正常操作下能夠維持熱平衡，無需補充熱量，通常只需要在催化燃燒反應器中設置電加熱器供起燃時使用。
