光催化廢氣處理設備利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射惡臭氣體和TiO2光催化，催化裂解惡臭氣體如：氮、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機廢氣或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。
TiO2光催化的催化化性在很大程度上影響光催光反應速率，而TiO2光催光活性主要受TiO2的晶型和粒徑的影響。銳鈦型TiO2的催化活性高。隨著粒徑的減少，電子與空穴簡單復合的概率降低，光催化活性增大。另外，孔隙率、平均孔徑、粒子表面狀態，純度等對其光催化活性也均有一定影響。為了提高光降解效率，對TiO2光催化劑進化改性，如研制納米TiO2，制備TiO2的復合半導體，金屬離子摻雜、染料光敏化等。也可以采用各種先進的手段制備TiO2催化劑，以提高光催化劑的活性。
光催化廢氣處理設備利用高能臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2→O一+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)，眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有立竿見影的清除效果。
利用高能UV光束裂解惡臭氣體中細菌分子鍵，破壞細菌的核酸(DNA)，再通過臭氧進行氧化反應，徹底達到脫臭及殺滅細菌的目的。
光催化廢氣處理設備又稱之為紫外光除臭設備，光電離子廢氣凈化設備，光解催化氧化廢氣凈化設備等。它是一種能高效快速去除揮發性有機物、無機物、硫化氫、氨氣、硫醇、苯等各種惡臭氣體的環保設備。脫臭效果較好，脫臭效果大大超過國家頒布的惡臭污染物排放標準(GB14554-93)。
光催化廢氣處理設備廣泛應用于噴漆廢氣處理、油墨廢氣處理、塑膠廢氣處理、化工廢氣處理、制藥廢氣處理、污水池臭氣處理、飼料廢氣處理、鑄造廢氣處理等各種有污染源惡臭氣體的廢氣處理脫臭凈化。
